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　　智能压力变送器由智能传感器和智能电子板两部分组成，智能传感器部分包括：电容式传感器、测量膜片检测电路、温度传感器和温度补偿电路等组成；智能电子板板部分包括：微电脑控制器及外围电路组成，完成压力信号到4～20mAdc的转换。用于测量液体、气体或蒸汽的压力，然后将压力信号转变成4～20mADC信号输出。智能压力变送器可与手操器相互通讯，通过它进行设定，调整压力范围，监控或与上位机组成现场监控系统，它广泛应用于工业管道中弱腐蚀性液体、气体、蒸汽的测量和控制系统。

　　质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于zui低值(0.1 MPa)，有可能控制达不到满量程值;若高于zui高值(0.3MPa)，有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，并且要求气压要相对稳定。